Semula Inspektorat Provinsi Jawa Tengah ini bernama Inspektorat Wilayah Provinsi Jawa Tengah. Lembaga ini merupakan perangkat daerah yang mempunyai tugas pokok dan fungsi membantu gubernur dalam bidang pengawasan. Inspektorat Wilayah berdiri pada awal tahun 1960 dengan dasar pertimbangan undang-undang No. 10 tahun 1950 tentang pembentukan Provinsi Jawa Tengah dan Keputusan Menteri Dalam Negeri No. 110 Tahun 1991 tentang Organisasi dan Tata Kerja Inspektorat Wilayah Provinsi. Semula Inspektorat Wilayah bertempat di Jl. Tunjung No. II A Semarang. Inspektorat Provinsi Jawa Tengah ini merupakan salah satu perangkat daerah yang mengawasi kinerja Aparatur Negara dalam pelaksanaan penyelenggaraan Pemerintahan dan Pembangunan di daerah. Pada tahun 1992 Inspektorat wilayah Jawa Tengah berpindah di Jl. Pemuda No. 127-133 Semarang.

Reformasi bergulir tanggal 21 Juni 1998, terjadilah perubahan yang mendasar terhadap sendi-sendi kehidupan bangsa. Perubahan itu menuntut adanya pembaharuan yang diharapkan mampu menuju ke arah perubahan, terutama pada kelembagaan pemerintah baik tingkat pusat maupun daerah. Karena itulah maka pemerintah menetapkan UU. No. 22 tahun 1999 Pemerintah Daerah (Lembaga Negara Tahun 1999 No. 60 Tambahan Lembaran Negara No. 3839). Dan Peraturan Pemerintah Daerah (Lembaga Negara Tahun 2001 No. 41, Tambahan Lembaran Negara No. 4090). Berkaitan dengan itu, maka dibentuklah Badan Pengawas Propinsi Jawa Tengah sebagai pengganti Inspektorat Wilayah Provinsi Jawa Tengah.

Seiring dengan berjalannya waktu, berdasarkan Peraturan Daerah Provinsi Jawa Tengah No. 7 Tahun 2008 Organisasi dan Tata Kerja Badan Perencanaa Pembangunan Daerah, Inspektorat dan lembaga Teknis Daerah Provinsi Jawa Tengah, maka Gubernur Jawa Tengah mempertimbangkan bahwa dalam rangka optimatisasi tugas lembaga teknis daerah sebagai unsur pendukung tugas Gubernur dan dengan diterbitkannya Peraturan Pemerintah No. 41 Tahun 2007 tentang Organisasi Perangkat Daerah dan, maka Peraturan Provinsi Jawa Tengah No. Tahun 2001 tentang Pembentukan, Kedudukan, Tugas Pokok, Fungsi dan Susunan Organisasi Badan Pengawas Pengawas Provinsi Jawa Tengah sebagaimana telah diubah dengan Peraturan Daerah Provinsi Jawa Tengah No. 4 Tahun 2006, sudah tidak sesuai, oleh karena itu perlu ditinjau ulang kembali. Dan sampai saat ini nama Badan Pengawas Provinsi Jawa Tengah diubah kembali menjadi Inspektorat Provinsi Jawa Tengah.